傅先生把茶杯放在桌上,双手交叉搁在膝盖上,看着对面那个年轻人。
他今年五十七岁,在德国出生,学业有成之后,在瑞士联邦材料科学与技术研究所做了二十三年。
这半辈子见过的年轻才俊不算少,但像江瓒这个年纪,能坐在他面前用这种语气说话的,一只手数得过来。
“江总,你刚才说的这个方向,确实有意思。”傅先生斟酌着措辞,“玻璃基板替代AbF载板,tGV通孔填充的良率问题,目前国内做的人不少。京东方、沃格光电都在推,但量产良率卡在百分之七十左右,比AbF基板低了二三十个百分点。核心卡点就在tGV打孔、电镀无空隙填充和玻璃开裂控制这三个环节上。你凭什么觉得瓒芯能做出来?”
江瓒没有立刻回答。
他端起桌上的紫砂壶,给傅先生的杯子续了半杯,动作不紧不慢。
茶汤是深琥珀色的,倒进白瓷杯里能闻到一股陈年岩茶的焦糖香。
他把壶放回去,才抬起眼看傅先生。那双桃花眼在包厢的暖光里显得格外深,眼尾的泪痣像一滴没擦干的墨。
“傅先生,您刚才说到了三个卡点。”江瓒的声音很平,没什么起伏,“tGV打孔,现在主流路线是紫外超快激光钻孔,或者是激光诱导改性配合湿法蚀刻。
沃格光电做到三微米孔径、一百五十比一的深径比,已经算是国内顶尖。
但打孔只是第一步。真正决定良率的,是打孔之后的高深宽比电镀无空隙填充。
孔越小越深,铜填充越容易在底部形成空洞。一旦有空洞,热循环下玻璃和铜的膨胀系数不匹配,微裂纹就从孔壁开始扩展。”
傅先生的手指在膝盖上轻轻敲了一下。
江瓒继续说:“瓒芯在江东区的产线,上个月刚跑通了一条玻璃基板中试线。不是面板级的,是晶圆级的。八寸和十二寸兼容。我们的方案是在激光改性之后,加一道等离子体表面处理,把孔壁的粗糙度控制在纳米级,然后在电镀前用原子层沉积做一层超薄钛铜种子层。种子层的厚度是五纳米。这个厚度下,电镀填充的底部空洞率目前做到了千分之三以下。”
傅先生的眼神变了。
千分之三。这个数字意味着什么,他比谁都清楚。玻璃基板产业化最大的拦路虎就是良率,而良率的核心就是电镀填充的可靠性。如果江瓒说的是真的,那瓒芯的产线已经跨过了量产的门槛。
“种子层五纳米,ALd设备从哪来的?”傅先生问。
“荷兰的。但不是原厂设备,是我们自己改的。”江瓒笑了一下,露出两颗虎牙,看上去像一个大学生可声音却专业的不像话,“原厂设备只能做平面沉积,我们加了一套特制的深孔气流控制系统,让前驱体能在高深宽比的孔内均匀扩散。这个改造是我们自己的专利,跟荷兰那边没有关系。”
傅先生沉默了很久。
他手里有一个项目,是瑞士联邦理工和国内一家研究所的联合课题,方向就是tGV玻璃基板的低温铜填充工艺。
做了三年,论文发了七八篇,但工艺始终卡在良率上。
瑞士那边的合作方已经有些不耐烦了,经费明年就要重新评审。他需要一条能跑通量产的产线来验证他的理论模型,而国内能做玻璃基板中试线的企业,屈指可数。
京东方还在送客户认证阶段,沃格光电的tGV技术虽然领先,但他们的强项在打孔,不在电镀填充。瓒芯如果真的有千分之三的底部空洞率——
“傅先生,”江瓒的声音打断了他的思绪,“您那个低温铜填充的项目,我了解过。您用的是一种新型的有机添加剂体系,可以在较低温度下抑制铜的过度沉积,理论上能把填充时间缩短百分之四十。但您缺一条能验证它的产线。您所在的实验室没有这个条件,跟您合作的国内研究所也没有。中科院微电子所倒是有设备,但他们的产线是硅通孔的,跟玻璃基板的工艺窗口不一样。”
傅先生抬起头来,看着对面这个年轻人。
二十三岁。把这些数据记得分毫不差,把国内哪家研究所有什么设备、哪家企业的产线卡在哪个环节,全部摸得清清楚楚。
他甚至知道傅先生手里那个项目的技术路线和瓶颈在哪里。
“你调查过我。”傅先生说。
“我调查过所有可能跟瓒芯合作的人。”江瓒没有否认,“傅先生,您在瑞士二十三年,回国之后没有进任何一家大厂,而是自己拉了一个小团队做课题。
为什么?因为您想做的东西,国内没有一家企业愿意投钱做中试。他们觉得玻璃基板太远,觉得三年五年见不到回报。但瓒芯不一样。瓒芯从成立第一天起,做的就是别人觉得太远的事。”
他顿了顿,从西装内袋里拿出一张折好的纸,推到傅先生面前。
傅先生打开一看,是一份工艺参数的对比表。左边是傅先生团队发表在《先进封装》期刊上的实验数据,右边是瓒芯中试线用他的添加剂体系跑出来的实测数据。两条曲线在关键节点上几乎重合,甚至瓒芯这边的数据还略好一些。
“您看第三组,填充温度从二百四十度降到二百一十度,空洞率反而下降了。”江瓒用指尖点了点表格上的一个数字,“这说明您的添加剂体系在瓒芯的产线上是有效的。甚至比我预想的更有效。傅先生,我不是来跟您谈合作的。我是来告诉您——您的理论,在瓒芯的产线上,可以变成量产。”
傅先生盯着那张表,看了很久。
他今年五十七岁了。在瑞士的时候,每年圣诞节同事们都会问他要不要回中国过年。他总是笑着说,回不去了,国内没人做这个方向。他以为自己这辈子就这样了,发发论文,带带学生,然后退休。可这张表上的两组数据告诉他,有人在国内,用他的东西,跑出了一条他想了三年都没跑通的路。
“你父亲知道你在做这个吗?”傅先生忽然问。