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第3667章 浸润式微影技术

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“现在在ASmL里面,争吵的分歧集中在哪里,哪种声音更具优势话语权?”

赵长安举杯和学长碰了一下,喝了一口酒,没有夹菜问。

“喝了酒吃点菜,这样不伤胃。这家中餐馆的老板是中国人,我到阿姆斯特丹的时候,只要时间来得及,都会过来吃一顿家乡菜。虽然味道和国内的有点区别,可也还算地道。”

萧扬明热情的招呼赵长安夹菜,自己也夹了一筷子,咀嚼中带着怀念的味道幽幽的说道:“从到北美留学开始,我有十几年没有回国了,听说国内的变化很大。就是不知道我们那庄子里面是不是还那么穷,一年到头也就过年能吃个荤腥,主粮一半是面食一半是红薯当家。”

赵长安这几年经常出国,也发现了一个奇怪的现象,就是在某地见到出国多年的游子的时候,他们往往更喜欢邀请他吃当地的中国菜馆。

似乎想要通过这个方式向来自国内的老乡证明,自己虽然身处异国他乡,可从来都没有忘记自己的根。

可赵长安这么千里迢迢的过来,是要尝一下这不伦不类的‘地道的中国菜’么?

而且你自己也说了十几年没有回国,萧扬明在麻省理工硕士毕业以后,就进入了飞利浦北美分公司,后来调到荷兰总公司,改签ASmL参与pAS500的技术升级。

在他进入ASmL的时候,就已经是这家公司在全世界市场份额的高速扩张期,工资绝对不会太低,而且每年的年假也肯定会有。

这样的一个人,居然在自己面前感叹,说十几年没有回国。

即使没有回国,总可以通过书信和电话和家里人联系吧,能不知道国内现在老百姓的日子已经过好了?

只不过家家都有本难念的经,赵长安虽然好奇可并不在意,谈正事就谈正事,没有必要和他东扯西扯打感情牌的节外生枝。

只是淡淡的说道:“现在国内老百姓的日子变好了,不说顿顿有肉,可隔三差五总能打个牙祭。”

夹了一筷子水煮肉片,除了麻辣咸油没有别的味道,肉片还柴,估计是放了不知道多久的冷冻肉,真是聪明和智慧全都用在这上面去了。

“目前最稳妥的就是研发157nm纯氮气环境中的干式光波雕刻步进机,虽然Nikon和canon在这个研发方向上占有绝对的技术优势,不过作为世界头部级企业,他们这几年几十亿美元的投资和现在拿到的诸多技术专利,正是说明这条路的可行性。”

萧扬明说道:“如果选择跟进这条路,对于其余所有的企业来说都是一条最愚蠢决定,这等于是砸进去几十亿美元,制造出来一种就算是能够研制成功,但是很有可能就像之前的pAS2000,2500那种有产品没市场的商品,这么大的损失,这些股东除非疯了才会同意。要么也可以,Sematech(m国半导体制造技术联盟)中的m国机构,真金白银的掏出来这几十亿,想要EUV-LLc联盟投资,根本就没有任何的可能。”

“也就是说Sematech美方非企业组织,对157nm纯氮气干式技术感兴趣?”

赵长安说道:“这和他们花这么大的力气,甚至把硅谷集团(SVG)也出售给ASmL的初衷不符。”

“mIt(麻省理工学院林肯实验室),得州大学,m国国防部、能源部、国家实验室、国家科学委员会、国家标准及技术院,都一直在游说ASmL,进行这个方向的技术推进。”

萧扬明说道:“第二个方向就是进行157nm的液体介质浸没式光刻,这个方向的风险性太大,几乎等于要把原来已经成熟的193nm干式架构全部推到重新架构,这个方案虽然也有一定的呼声,不过并不大,至少在目前技术水平下,还有着太多的障碍没法攻克。而且无论是时间的跨度还是海量的投资,都能让人窒息。然而几乎所有真正懂得步进机原理的都知道,157nm进程早晚都要面对,即使现在规避,可等到摩尔定律到了时间压缩的极限,还是最终需要重启。”

“在这两种方案的对比下,Sematech美方非企业组织显然觉得,ASmL可以和Nikon和canon进行同质化研发,这样至少可以保持住ASmL在光刻机领域的世界前三强的位置,制约东洋。”

在90年ASmL推出pAS5500之前,ASmL在全球光刻机领域的市场份额,几乎可以忽略不提,而且自从成立起就一直处于亏损状态,整整亏损了六年。

这里面幸亏有飞利浦持股27.4%的台积电的订单,不然ASmL生产出来的pAS步进机,根本就没有人买。

而从pAS5500开始,只是靠着这一款产品,ASmL就一路挤掉全球诸多的光刻机企业,成为全球第三。

也正是凭借着pAS5500的亮眼表现,让欧洲和老m突然对有可能超过Nikon和canon,成为全球光刻机霸主,充满了一种热血的冲动和渴望,不愿意在这个领域受制于人。

连忙不请自来的屁颠屁颠的到处串联,于97年组建Sematech联盟。

到了99年开始收购硅谷集团(SVG),这是美国本土唯一的一家大型光刻机企业,ASmL更是超过canon,一跃成为光刻机领域排名世界第二,仅次于Nikon。

也正是这种危机感,让Nikon和canon这两家东洋企业不计前嫌的联手,研发下一代的157nm光刻机。

而英特尔,摩托罗拉,Amd等看到这一幕,向Nikon和canon提出了休战合议,就是组建EUV-LLc联盟(极紫外光刻技术),由这些公司投资参股Nikon和canon剥离光刻机部门,这种简直就是抢劫的行为,东洋那边一片骂声,当然不会同意。

当年的广场协定,可把东洋坑的不轻,这次自然不愿意再当上当的傻比。

于是英特尔,摩托罗拉,Amd这些企业又找到ASmL,提出可以提供资金研发EUV光刻机,才有了ASmL现在的路线争论。

“还有对雕刻源的选择,除了dUV和EUV,xpL(x射线近场光刻)、电子束光刻和离子投影光刻,这四种雕刻源代表着四个不同的方向,全球都有企业和研发机构在推进这些雕刻技术。不过除了这些,目前在公司里面呼声最高的是193nm浸润式光刻技术。”

赵长安听的愣了一下,有点惊讶的望着萧扬名。

“在去年底的全球SpIE微光刻会议上,mIt的报告表明,在纯水环境157nm技术有着太多的难题和不稳定性,然而对于193nm,则和空气中的数据几乎没有任何的区别。”

萧扬名说道:“长安你可能没太明白这个报告的意义,其实只要你事后稍微想一下就明白了,尤其你也是微电子专业。这也就是意味着可以利用成熟的193nm工艺,浸润式微影技术将镜头与晶圆的介质从折射率n~1的空气,改成n= 1.44的水(对应波长为193纳米光),形同将波长等效缩小为134纳米。这样就解决了这个最根本的波长问题。”

“这个技术呼声最高的是飞利浦,英特尔,卡尔蔡司,这些EUV-LLc联盟成员。因为一旦成功,ASmL的市场份额就会从全球第二,进入全球第一,而且把Nikon和canon甩开一个断层。不过这个技术上的难题依然很多,同样是即使投入大量的资源,也不能说就一定可以研发成功。”

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