欧皇妲没回答,而是伸出手指在屏幕上划了几下,放大了一张分子量分布图。
然后又抱着奶茶,小口吸了几口,认真的思考起来。
身后的程新彤,以及一众专家都紧盯着这娇小的背影。
“问题在这儿。”她指着图上一处不太明显的肩峰,说道:“你们的聚合物合成工艺里,链转移控制不够精准,导致高分子量组分占比偏高。
这部分虽然对分辨率有帮助,但在曝光后会产生严重的链缠结效应,直接拉高了LwR。”
程新彤猛地站起身,快步走到屏幕前死死盯着那张图。身后的几个研究员也凑了过来,神色各异。
“可是……”之前那个戴眼镜的研究员迟疑道,“我们做过Gpc测试,分散度已经控制在1.2以下了,这在国内算顶尖水平了。”
“1.2对28nm够用,对13nm远远不够。”欧皇妲语气平淡,虽然她没做过这个实验,但是冥冥之中她脑子里有个数字在跳出来似的。
略微停顿后,她说道:“你可以试试把分散度压到1……1.05以下,同时要把高分子量尾端完全切掉。
另外,你们的产酸剂和淬灭剂的比例也有问题——在这么短的曝光波长下,酸扩散长度必须控制在5nm以内。你们现在的配方,酸扩散长度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口气:“这个我们也意识到了,但是调整比例之后敏感度就会大幅下降……”
“那是因为你们用的淬灭剂扩散系数太高了。”欧皇妲打断了她,伸手从白板上拿起一支笔,刷刷刷写下一串分子式,“试试这个,刚合成的含氟负离子配对的三级胺盐。
它的扩散系数比你们现在用的低两个数量级,而且热稳定性更好。产酸剂那边,把阴离子换成这个结构——”
她又写了一串更长的分子式。
会议室里鸦雀无声。所有研究员都在盯着白板上那些陌生的化学结构。
程新彤第一个反应过来,声音有些发颤:“小师妹,这个产酸剂的结构……我没见过。”
“嗯……我刚想到的。”欧皇妲眨了眨眼,略微尴尬的挠着头,“如果能够实现,那光吸收截面比现有的提高约40%,而且分解产酸的量子产率能达到0.85。你们可以做个模拟验证一下。”
“刚……刚想到的?”那个眼镜研究员差点被自己口水呛到。
众人像看着怪物似的盯着欧皇妲。
作为欧皇妲入职以来最熟悉的闺蜜,秦岚对此早已经见怪不怪。
别说是一群博士,就是院士,也很震惊的好吧。
她甚至还暗暗窃喜,“这新彤的光刻胶,是在小妲的帮助下突破的,那采购价格,是不是得便宜点呢?”
程新彤却已经掏出手机对着白板拍照,同时转头对助理说:“快,去把合成实验室的刘工叫来,让他看看这个结构能不能做出来。”
助理飞奔而去。
欧皇妲又吸了口奶茶,似乎想起了什么:“对了,师姐,你们现在的光刻胶树脂里还在用羟基保护基团对吧?”
“对,传统的叔丁氧羰基保护。”
“换掉吧。”欧皇妲干脆利落地说,“改成缩醛类保护基团。脱保护活化能更低,而且不会产生小分子气体副产物,能大幅降低缺陷率——大概能把缺陷密度压到每平方厘米3个以下的,就差不多了。。”
程新彤觉得自己有点头晕。这些困扰了她大半年的难题,在欧皇妲嘴里就像是在说今天天气不错似的轻松自如。
“小师妹,你说的这些……都需要重新验证工艺窗口,三个月时间可能……”程新彤咬住嘴唇,声音里带着明显的不确定。
事实上,她知道,自己没有三个月,甚至一个月都没有!
紫晶工厂那边已经天天在催,需要最新的光刻胶,甚至已经派专门运送的车队在等着,时刻准备出厂直接运送回茂市,进行生产测试。
“不用三个月。”欧皇妲笑了笑,说道:“我刚刚说的那些,你让人把现有配方参数给我,我今天晚上跑一遍模拟,明天给你一个初步的优化配比。你们直接案那个做小试,一周内应该能看到明显改善。”
“一周?”程新彤和身后的研究员们异口同声。
“怎么,时间太长了?”欧皇妲歪头想了想,“那三天也行,我今晚熬个夜。”
程新彤张了张嘴,想说熬夜不好,但转念一想——自己为了解决这些问题,整个团队已经连续加班三个月了。
她深吸一口气,走到欧皇妲面前,认认真真地鞠了一躬。
“小师妹……那,这件事拜托你了。”
“真不知道怎么感谢你好……”程新彤眼里感动的汪汪的。
没想到这位素未谋面的学妹竟然对自己如此的好。
欧皇妲尴尬的扣在原地,这种感谢,反而让她有点儿不适应。
她看着秦岚,眼里满是求救。
秦岚适时打岔道,“程总,小妲的奶茶喝完了,你这里有奶茶吗?”
程新彤愣了半秒,随即笑了出来:“有有有,总部食堂就有,我让人给师妹买。”
说着,程新彤就亲自带着欧皇妲出去,只是转头叮嘱一下团队专家立马着手开始做试验验证。
旁边的眼镜研究员默默掏出笔记本,开始疯狂记录。
他看了看白板上那些天书般的化学结构,又看了看面前这个捧着空奶茶杯、笑容灿烂的女孩,内心只有一个念头——这世上,真的有天才。
她们在新彤光电待了三天,欧皇妲就帮忙解决了诸多问题,秦岚也终于决定离开京都,向北前往黑哈市。
珠算中心的是时务,为了迎接这公司内部传奇的科学家,早已经做好了安排。
这位被马农发配回东北苦寒之地的软件推广干将,更是亲自到火车站去迎接她们。